世界最高性能の窒化ガリウム圧電薄膜をRFスパッタ法で作製
公開日：2023/03/13
著作権/利用条件
コンテンツ提供者
産業技術総合研究所
必要項目を入力後、「送信する」ボタンをクリックしてください。
*は必須項目となります。
公開日：2023/03/13
著作権/利用条件
コンテンツ提供者
産業技術総合研究所
